自带传感器的压电叠堆泵

摘要

本发明涉及一种自带传感器的压电叠堆泵，属于微流体传输与控制领域应用领域。用于驱动的压电叠堆和用于测量的压电传感器安装于泵体内部，泵体一端安装有拧紧螺钉，拧紧螺钉通过防扭挡片将压电传感器及压电叠堆挤压在顶块上，顶块通过螺钉与泵腔隔膜及活塞连接，泵盖上安装有进口阀和出口阀，压电传感器和压电叠堆分别通过导线与控制电源相连。利用内置的压电式压力传感器检测压电叠堆的变形量信息、并将其转换成泵流量及压力，无需其它的压力及流量测量仪器即可实现压电泵输出性能的在线监测，易于获得精确的输出流量与压力。

主权项

自带传感器的压电叠堆泵，其特征在于: 用于驱动的压电叠堆和用于测量的压电传感器安装于泵体内部；所述泵体一端安装有拧紧螺钉，拧紧螺钉通过防扭挡片将压电传感器及压电叠堆挤压在顶块上；所述顶块通过螺钉与泵腔隔膜及活塞连接；泵腔隔膜再通过螺钉与泵体及泵盖连接；泵盖上安装有进口阀和出口阀；活塞以及安装于所述活塞上的密封圈、泵盖、进口阀和出口阀共同构成泵腔；所述的压电传感器和压电叠堆分别通过导线与控制电源相连。