一种全球面投影物镜

摘要

本发明提出了一种全球面投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该全球面投影物镜系统，沿其光轴方向包括第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组和第五透镜组。从光束入射方向顺序第一透镜组G1具有正光焦度，第二透镜组G2具有负光焦度，第三透镜组G3具有正光焦度，第四透镜组G4具有负光焦度，第五透镜组G5具有正光焦度。且所述的全球面投影镜组中所有镜片都是球面，不含非球面。本发明的全球面投影镜组能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。

主权项

一种全球面投影物镜，沿其光轴方向包括第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三透镜组（G3）、第四透镜组（G4）和第五透镜组（G5），所述透镜均处于同一光轴，其特征在于：从光束入射方向顺序第一透镜组（G1）具有正光焦度，第二透镜组（G2）具有负光焦度，第三透镜组（G3）具有正光焦度，第四透镜组（G4）具有负光焦度，第五透镜组（G5）具有正光焦度，且所述透镜均为球面；第一透镜组（G1）包括第一正透镜（1）、第二正透镜（2）、第一负透镜（3）和第一弯月透镜（4）；第二透镜组（G2）包括第二负透镜（5）、第三负透镜（6）和第四负透镜（7）；第三透镜组（G3）包括第二弯月透镜（8）、第三弯月透镜（9）、第四弯月透镜（10）、第三正透镜（11）、第四正透镜（12）、第五弯月透镜（13）、第六弯月透镜（14）和第七弯月透镜（15）；第四透镜组（G4）包括第五负透镜（16）和第六负透镜（17）；第五透镜组（G5）包括第八弯月透镜（18）、第九弯月透镜（19）、第五正透镜（20）、第六正透镜（21）、第七负透镜（22）、第七正透镜（23）、第十弯月透镜（24）、第十一弯月透镜（25）、第十二弯月透镜（26）、第八负透镜（27）和第八正透镜（28）。