等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置

摘要

本发明公开了一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置。主要解决目前等离子产生系统内置冷却电极不可更换、电极接口处放电不稳定的问题。整个装置主要包括金属螺杆（1）、锁紧顶盖（2）、绝缘底座（3）和绝缘挡板（4），金属螺杆（1）上部连接锁紧顶盖（2），下部连接绝缘底座（3），本装置通过螺纹连接和嵌入式的连接方式，实现内置冷却电极的快速拆装，绝缘挡板（4）套在绝缘底座（3）上部，通过绝缘挡板（4）防止电极接口部分与等离子腔体发生弧光放电。本发明方便等离子体产生装置内置冷却电极的更换，同时防止电极接口部分发生弧光放电，可用于等离子产生系统内置冷却电极与等离子腔体的绝缘和密封。

主权项

一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于:包括金属螺杆（1）和绝缘挡板（4）；金属螺杆（1）内开有两个并行的通孔（9）和（10）,上部连接有锁紧顶盖（2），下部连接有绝缘底座（3）；锁紧顶盖（2）下端嵌入绝缘底座（3）上端；绝缘挡板（4）套在绝缘底座（3）上部，绝缘底座（3）固定在等离子放电腔体上。