| 发明名称 | 溅射压力传感器 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及传感器，具体是一种溅射压力传感器。本实用新型解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题。溅射压力传感器，包括接管咀和圆膜片；接管咀上端面设有凹腔；圆膜片外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片下表面边缘与接管咀上端面边缘密封连接；圆膜片下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀与压力室连通。本实用新型结构合理、设计巧妙，有效解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题。本实用新型还简化了加工工艺，降低成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。 | ||
| 申请公布号 | CN202522347U | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN201220160717.9 | 申请日期 | 2012.04.17 |
| 申请人 | 太原市精微测控技术有限公司 | 发明人 | 姜宏金 |
| 分类号 | G01L1/18(2006.01)I;G01L9/06(2006.01)I | 主分类号 | G01L1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人 | 朱源 |
| 主权项 | 一种溅射压力传感器，其特征在于：包括接管咀（1）和圆膜片（2）；接管咀（1）上端面中央设有凹腔；圆膜片（2）外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片（2）下表面边缘与接管咀（1）上端面边缘密封连接；圆膜片（2）下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀（1）与压力室连通。 | ||
| 地址 | 030006 山西省太原市师范街126号南街34 | ||