| 发明名称 | 酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置，所述制备装置包混合罐（5），所述混合罐（5）进口连接有磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）和硝酸储罐（3），所述磷酸储罐（1）与混合罐（5）之间串联有精馏塔（4）；所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口相连，所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口的连接管道上设置有隔膜泵（6）；所述超滤装置（7）出口与成品罐（8）进口相连。本实用新型在磷酸、醋酸、硝酸混合之前，先通过离子交换树脂进行处理，混合后再经过超滤膜进行超滤，使得蚀刻液颗粒度小，颗粒杂质含量少、纯度高。 | ||
| 申请公布号 | CN202519334U | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN201220049285.4 | 申请日期 | 2012.02.16 |
| 申请人 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | 发明人 | 沈芬;戈士勇;盛建伟 |
| 分类号 | C23F1/20(2006.01)I;C23F1/26(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人 | 唐纫兰;曾丹 |
| 主权项 | 一种酸性高纯钼铝蚀刻液制备装置，其特征在于：所述制备装置包括磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、精馏塔（4）、混合罐（5）、隔膜泵（6）、超滤装置（7）和成品罐（8）；所述混合罐（5）进口连接有磷酸储罐（1）、醋酸储罐（2）和硝酸储罐（3），所述磷酸储罐（1）与混合罐（5）之间串联有精馏塔（4）；所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口相连，所述混合罐（5）出口与超滤装置（7）进口的连接管道上设置有隔膜泵（6）；所述超滤装置（7）出口与成品罐（8）进口相连。 | ||
| 地址 | 214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区 | ||