| 发明名称 | 一种投影光刻物镜 | ||
| 摘要 | 一种投影光刻物镜，沿光束传播方向依次包括：一第一反射装置，将物方平面的入射光线反射进入一光学透镜系统；所述光学透镜系统包括：一具有正光焦度的第一透镜组；一具有负光焦度的第二透镜组；一凹面球面反射镜；以及一第二反射装置，将所述光学透镜系统的出射光线反射进入像方平面；其中，所述第一、第二透镜组满足以下关系：0.1＜|fG11/fG12|＜0.5其中，fG11：第一透镜组的焦距；fG12：第二透镜组的焦距。本发明的亚微米投影物镜，能校正场曲、像散，并实现物像空间的双远心。在能够实现亚微米分辨率同时，物面与像面平行，为整机设计带来便利。 | ||
| 申请公布号 | CN102768397A | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN201110117085.8 | 申请日期 | 2011.05.05 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 武珩;黄玲 |
| 分类号 | G02B13/22(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G02B13/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种投影光刻物镜，其特征在于，沿光束传播方向依次包括：一第一反射装置，将物方平面的入射光线反射进入一光学透镜系统；所述光学透镜系统包括：一具有正光焦度的第一透镜组；一具有负光焦度的第二透镜组；一凹面球面反射镜；以及一第二反射装置，将所述光学透镜系统的出射光线反射进入像方平面；其中，所述第一、第二透镜组满足以下关系：0.1＜|fG11/fG12|＜0.5其中，fG11：第一透镜组的焦距；fG12：第二透镜组的焦距。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号 | ||