| 发明名称 | 一种用于薄膜杨氏模量测量的系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器，所述脉冲激光器发射脉冲激光经第一扩束镜准直扩束后，被3:7分光镜分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜聚焦在被测样品的表面，激发产生声表面波信号；所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器显示后被传输至计算机进行处理。该系统不仅拥有压电激光声表面波检测技术信号幅度大、在扰动大的测试环境中适用性强等优点，也继承了差分共焦激光声表面波检测技术快速、准确、非接触测量及信噪比高等优势，适用性更强，适用范围更广。同时，基于差分共焦激光声表面波检测技术高测量带宽的优点，大大提高了测量分辨率。 | ||
| 申请公布号 | CN102768184A | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN201210255907.3 | 申请日期 | 2012.07.19 |
| 申请人 | 天津大学 | 发明人 | 丹特·多伦雷;杨斐;陈琨;路子沫;李艳宁;傅星;胡小唐 |
| 分类号 | G01N21/17(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人 | 温国林 |
| 主权项 | 一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器（1），所述脉冲激光器（1）发射脉冲激光经第一扩束镜（2）准直扩束后，被3:7分光镜（3）分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜（4）聚焦在被测样品（5）的表面，激发产生声表面波信号；其特征在于，所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器（27）显示后被传输至计算机（28）进行处理。 | ||
| 地址 | 300072 天津市南开区卫津路92号 | ||