片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置

摘要

本发明公开了片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置。片盒定位机构包括：位于片盒的底部的片盒底板，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，其设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。根据本发明实施例的片盒定位机构，定位配合的可观察性好、便于操作。此外，安装起来方便快捷。并且，节省了操作者的体力，使安装过程变得轻松容易。而且，能够精细地控制片盒的状态，从而可以避免出现片盒因失控而碰撞片盒安装板，从而能够确保托盘准确定位的同时保证放置在托盘上的衬底的安全。

主权项

一种片盒定位机构，其特征在于，包括：片盒底板，所述片盒底板位于片盒的底部，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，所述片盒安装板上设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，所述片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。