一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置

摘要

本发明公开了一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置，其结构为：衬底装置由调速电动机，衬底支架，加热器，衬底，石英晶体振荡监厚仪，挡板和热电偶组成，调速电动机与衬底支架连接，衬底安装在衬底支架的下面，衬底支架位于真空腔体内，调速电动机带动衬底支架和衬底旋转，加热器用于加热衬底，热电偶用来测量衬底的温度。两个送粉器均由盛粉容器，石英管和时间继电器组成，送粉器固定在真空腔体内壁上。真空腔体上开有进水口和出水口。真空系统由高真空机组和充气阀组成，高真空机组与真空腔体相连。加热系统由电阻加热炉，钽片和热电偶组成。本发明采用闪蒸法结合双路交替送粉器来实现超晶格热电薄膜材料的制备，具有高效节能、成本低、工艺简单等优点。

主权项

一种制备超晶格热电薄膜材料的双闪蒸法装置，其特征在于：衬底装置由调速电动机(1)，衬底支架(2)，加热器(3)，衬底(4)，石英晶体振荡监厚仪(5)，挡板(6)和热电偶(21)组成，调速电动机(1)与衬底支架(2)连接，衬底安装在衬底支架(2)的下面，衬底支架(2)位于真空腔体(16)内，加热器(3)位于衬底(4)的上面，热电偶(21)用来测量衬底(4)的温度，送粉器由盛粉容器(7)，石英管(8)和时间继电器(9)组成，送粉器固定在真空腔体(16)内壁上，另一送粉器同样由时间继电器(18)，石英管(19)和盛粉容器(20)组成，固定在真空腔体(16)内壁上，加热系统位于真空腔体的底部。