用于提供图像感测像素的衬底的导电性的方法、设备及系统

摘要

本发明揭示一种用于提供图像感测像素的衬底的导电性的方法、设备及系统。涉及用于促进像素阵列的衬底中的导电性的技术。在实施例中，将隔离区及掺杂剂阱安置于邻接所述衬底的外延层内，其中所述掺杂剂阱的一部分介于所述衬底与隔离阱的一部分之间。在另一实施例中，在所述外延层内进一步安置一触点，其中所述隔离区的一部分环绕所述触点的一部分。

主权项

一种像素阵列，其包括：多个像素，其安置于外延层中或所述外延层上，所述外延层具有形成于其表面中的沟槽，所述外延层邻接衬底，其中所述多个像素包含：掺杂剂阱，其安置于所述外延层内至少所述衬底与所述沟槽之间；隔离区，其安置于所述沟槽内；及触点，其安置于所述沟槽内，其中所述隔离区环绕所述沟槽内的所述触点。