镀膜设备的框架式真空室

摘要

本发明涉及镀膜设备的框架式真空室，该真空室包括一个用镶嵌板镶嵌的框架。镶嵌板与框架一起组成一个可产生真空的空间。该框架的蒙皮最好用一整块金属件切去大面积材料制成，由此形成镶嵌板的孔洞，其优点是，镶嵌板嵌入的地方没有焊缝。

主权项

真空室，用于镀膜设备，其中在该真空室上布置有各种功能元件，该真空室包括一个室框架，镶嵌板以机械方式可拆卸地和密封地嵌入该室框架中，且其中的一些镶嵌板支承功能元件，其特征为，该室框架包括至少一个用整块金属板成型的、带有板条的底面，这些板条在连接到该底面上的区域中弯折，使得所述板条构成室框架的支撑板。