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发明名称 SYSTEM AND METHOD FOR ELECTRONIC DIAGNOSTICS OF A PROCESS VACUUM ENVIRONMENT
摘要
申请公布号 EP1915603(B1) 申请公布日期 2012.11.07
申请号 EP20060801403 申请日期 2006.08.11
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 ARRUDA, JOSEPH, D.;KEAY, KATHLEEN, D.;GILCHRIST, GLEN, F., R.
分类号 G01M3/32 主分类号 G01M3/32
代理机构 代理人
主权项
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