| 发明名称 | 特别是用于测量薄层厚度的装置的测量探针 | ||
| 摘要 | 一种用于测量薄层厚度的装置的测量探针，其具有：包括至少一个感测器元件(17)的外壳(14)，所述的感测器元件沿所述的外壳(14)的纵轴(16)至少轻微可移动地容纳于外壳(14)；以及接触球形罩(21)，其配有至少一个感测器元件(17)以用于将所述的探针(11)放置在测量物体的表面上，其中，所述的至少一个感测器元件(17)沿所述的外壳(14)的纵轴(16)由保持部件(18)容纳，所述的保持部件设计成弹性的承载弹簧，并且其固定在所述的外壳(14)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1975319B | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
| 申请号 | CN200610171829.3 | 申请日期 | 2006.11.14 |
| 申请人 | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 | 发明人 | H·费希尔 |
| 分类号 | G01B7/00(2006.01)I;G01B7/06(2006.01)I;G01B1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 温大鹏;胡强 |
| 主权项 | 一种用于测量薄层厚度的装置的测量探针，其具有：包括至少一个感测器元件(17)的外壳(14)，所述的感测器元件沿所述的外壳(14)的纵轴(16)至少轻微可移动地略微深入外壳(14)中；以及接触球形罩(21)，其配有至少一个感测器元件(17)以用于将所述的探针(11)放置在测量物体的表面上，其特征在于，所述的至少一个感测器元件(17)由保持部件(18)支撑，所述的保持部件设计成沿所述的外壳(14)的纵轴(16)的弹性的承载弹簧，并且其固定在所述的外壳(14)上。 | ||
| 地址 | 德国辛德尔芬根 | ||