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发明名称
PLASMA PROCESSING APPARATUS FOR PRODUCING UNIFORM PROCESS RATES
摘要
申请公布号
EP1230668(B1)
申请公布日期
2012.11.07
申请号
EP20000993006
申请日期
2000.11.14
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
BAILEY, ANDREW, D., III;SCHOEPP, ALAN, M.;KUTHI, ANDRAS
分类号
H01J37/32;H05H1/46;C23C16/505;H01L21/3065
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
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