发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PLASMA PROCESSING
摘要
申请公布号 KR101197023(B1) 申请公布日期 2012.11.06
申请号 KR20090101155 申请日期 2009.10.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址
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