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发明名称 GAS SHOWER PLATE FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101198428(B1) 申请公布日期 2012.11.06
申请号 KR20077021576 申请日期 2006.04.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/02 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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