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经营范围
发明名称 Gas supplier for semiconductor manufacturing system
摘要
申请公布号 KR101196372(B1) 申请公布日期 2012.11.05
申请号 KR20070120668 申请日期 2007.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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