发明名称 SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 KR101197416(B1) 申请公布日期 2012.11.05
申请号 KR20117030584 申请日期 2004.08.04
申请人 发明人
分类号 C30B29/38;H01L21/20;C23C16/34;C30B25/02;C30B25/20;H01L21/205;H01L29/201;H01L33/32 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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