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发明名称 SUBSTRATE PLACING MECHANISM AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR101196601(B1) 申请公布日期 2012.11.02
申请号 KR20107005343 申请日期 2008.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/205 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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