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发明名称 Substrate supporting Member, Deposition Apparatus Having the Member and Method of Transferring Substrate Using the Same
摘要
申请公布号 KR101196197(B1) 申请公布日期 2012.11.02
申请号 KR20050001505 申请日期 2005.01.07
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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