裸晶粒双面检测设备

摘要

本发明为一种裸晶粒双面检测设备，包括有一载入装置、一正面影像撷取装置、一透明玻璃、一背面影像检测装置、一取放装置、以及一控制器。本发明先以正面影像撷取装置分别拍摄并检测承载盘上复数个裸晶粒之正面画面，继透过取放装置取出承载盘上之待测裸晶粒并放置于透明玻璃上方，再以背面影像检测装置由下往上拍摄并检测待测裸晶粒之背面画面，最后检测的结果可透过取放装置载出裸晶粒时并作分类。因此，本发明能大幅减少人力需求、及检测时间，进而节省成本并提升作业效率，且又能有效增加检测的准确度，更不会造成裸晶粒的损坏。

主权项

一种裸晶粒双面检测设备，包括：一载入装置，包括有一导引轨道、一滑台、及一承载盘，该滑台系滑移于该导引轨道上并可停留于一第一位置、及一第二位置，该承载盘系承载于该滑台上方，该承载盘上容置有复数个裸晶粒；一正面影像撷取装置，系位设于该导引轨道上方、并对应于位在该第一位置之该滑台上的该承载盘；一透明玻璃，系组设于该导引轨道之一侧、并邻近于位在该第二位置之该滑台；一背面影像检测装置，系组设于该透明玻璃下方，该背面影像检测装置包括有一摄像镜头，该摄像镜头朝上面向该透明玻璃；一取放装置，选择式地移动于位在该第二位置之该滑台上的该承载盘、与该透明玻璃之间；以及一控制器，分别与该载入装置、该正面影像撷取装置、该背面影像检测装置、及该取放装置电性连接，该控制器控制该正面影像撷取装置分别拍摄并检测该承载盘上该复数个裸晶粒之正面画面，该控制器控制该取放装置取出该承载盘上该复数个裸晶粒其中之一待测裸晶粒并放置于该透明玻璃上方，该控制器控制该背面影像检测装置之该摄像镜头由下往上拍摄并检测该待测裸晶粒之背面画面。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该透明玻璃包括有一特定区域，该特定区域用以承载着该待测裸晶粒，该背面影像检测装置之该摄像镜头正好对应于该透明玻璃之该特定区域下方。如申请专利范围第2项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该透明玻璃之该特定区域包括有一凸透镜。如申请专利范围第2项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该透明玻璃更包括有另一特定区域，该另一特定区域位于该特定区域之一侧，该另一特定区域与该特定区域二者中至少其一包括有一凸透镜，该另一特定区域具有与该特定区域不同放大倍率。如申请专利范围第4项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该背面影像检测装置之该摄像镜头并可选择式地移行于该特定区域下方与该另一特定区域下方之间。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其更包括有一第一载出装置、及至少一第二载出装置，该第一载出装置上承载有一合格裸晶粒承载盘，该至少一第二载出装置上承载有至少一瑕疵裸晶粒承载盘。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该控制器包括一记忆体，该记忆体内储存有一裸晶粒正面标准图像、及一裸晶粒背面标准图像，该控制器撷取该正面影像撷取装置传来之该复数个裸晶粒之正面画面，并据以分别与该记忆体中之该裸晶粒正面标准图像进行分析比对，该控制器更撷取该背面影像检测装置传来之该待测裸晶粒之背面画面，并据以与该记忆体中之该裸晶粒背面标准图像进行分析比对。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该背面影像检测装置之该摄像镜头系与该透明玻璃保持一特定距离。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该背面影像检测装置更包括有一辅助光源。如申请专利范围第1项所述之裸晶粒双面检测设备，其中，该取放装置包括一真空吸嘴。