晶圆载具门以及包含此门的晶圆载具及晶圆容器

摘要

一种晶圆载具门，其具有内门部分与外门部分。内门部分具有大致连续之内部表面。外门部分延伸覆盖至少内门部分之一部分。外门部分具有复数个形成于其中的孔。外门部分系被装附于内门部分上。

主权项

一种前开口式晶圆容器，包含一个具有前开口的晶圆载具壳体、及一个做成为密封住该前开口之大小的晶圆载具门，而该晶圆载具门包含：内门部分，具有实质上连续的内部表面；此内门部分包含中央面板、及从该中央面板垂直地延伸的侧面板；此内门部分系实质上呈连续状，且具有其外部尺寸；外门部分，实质上对应于该内门部分之外部尺寸；此外门部分系连接至该内门部分、延伸于其上、及实质上覆盖住该内门部分，藉以在其间界定出单一个腔室；以及一对锁定机构，用以将该晶圆载具门锁固至该晶圆载具壳体；此等锁定机构系被定位于该内门部分与该外门部分之间的腔室当中；该对锁定机构之其中一个系位于该晶圆载具门之左侧，而其另一个则位于该门之右侧；其中，该外门部分具有复数个形成于其中的孔，以有助于清洁该内门部分与该外门部分之间的该腔室；每个该等孔皆为具有长度和宽度的长形，其长度系为水平地定位，而该等孔系被配置成平行状；一组孔系被定位在该晶圆载具门之左侧，且被配置成实质上延伸于此门之高度的一行，而该组孔系能助益于清除由该对锁定机构中之任一个所产生的污染物；另一组孔系被定位在该晶圆载具门之右侧，且被配置成实质上延伸于此门之高度的一行，而该另一组孔系能助益于清除由该对锁定机构中之任一个所产生的污染物；该外门部分具有未设孔的部分。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，该外门部分具有一个表面区域，而且，该等孔系延伸覆盖该外门部分之表面区域的至少50%。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，该组孔系被定向配置成三个阵列，其每一者皆具有复数个垂直对齐的孔。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，每一行皆具有六个配置成组群的孔，而其组群系在该晶圆载具门上垂直地延伸。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，该等孔系由复数个水平部分及复数个垂直部分所界定，而界定出一个网格组构。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，该外门部分之至少一部分系由不透明材料所制成。如申请专利范围第1项之前开口式晶圆容器，其中，该外门部分之至少一部分系由静电分散材料所制成，而且，该内门部分系由透明塑料所制成，藉此，定位于此晶圆容器中的晶圆，便可藉由该等孔而透过前方的门而被观视。一种晶圆载具，包含：晶圆载具壳体，具有一个门开口，以供存取容纳于此壳体中的晶圆；以及晶圆载具门，包含：内门部分，具有中央面板及侧面板，该侧面板系围绕着该中央面板而延伸，且实质上垂直地由该中央面板延伸出来；此内门部分系实质上呈连续状，以防止污染物进入该晶圆载具壳体；外门部分，实质上覆盖住该内门部分，且在其间界定出单一个腔室，其中，此外门部分具有复数个彼此平行的长形孔；以及复数个锁定机构，用以将该晶圆载具门锁固至该晶圆载具壳体；该复数个锁定机构系被定位于该内门部分与该外门部分之间的腔室当中，其中，该等孔能助益于清除由该复数个锁定机构中之任一个所产生的污染物。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，该等孔系延伸覆盖该外门部分之表面区域的至少30%。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，该等孔系被定向配置成一阵列，其具有至少二行。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，设有三个组群之孔。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，该等孔系由复数个水平部分及复数个垂直部分所界定，而界定出一个网格组构。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，该等孔系被配置成第一侧边组、中央组、及第二侧边组，其中，第一侧边组系位于该外门部分之第一侧边附近；其中，第二侧边组系位于该外门部分之第二侧边附近，而该第二侧边系位于该第一侧边的相反侧；以及，其中，中央组系位于第一侧边组与第二侧边组中间。如申请专利范围第8项之晶圆载具，其中，另包含一对锁定机构，其系安装至该晶圆载具门。一种晶圆载具门，包含：内门部分，呈连续状，且系由透明材料所形成；外门部分，由静电分散材料所形成，其中，此外门部分具有一阵列之形成于其中的孔，每个孔皆为具有较大水平设置尺寸的长形，而该等孔系被配置成平行对齐，其中，该外门部分系系与该内门部分相匹配，而在当中形成单一个腔室；以及一对锁定机构，定位于该腔室中，其中一个该锁定机构系位于此晶圆载具门之左侧，而另一个该锁定机构则位于该门之右侧，其中，该等孔能助益于清除由该对锁定机构中之任一个所产生的污染物。如申请专利范围第15项之晶圆载具门，其中，该等孔系延伸覆盖该外门部分之表面区域的至少30%。如申请专利范围第15项之晶圆载具门，其中，该等孔系被定向配置成一阵列，其具有至少二行及复数个列。如申请专利范围第15项之晶圆载具门，其中，另包含一个锁定机构，其系安装于该内门部分及该外门部分至少其中之一，而至少部分地位于该内门部分与该外门部分之间。如申请专利范围第15项之晶圆载具门，其中，该外门部分之一部分系由不透明材料所制成。一种前开口式晶圆容器，包含一壳体及一晶圆载具门，而该晶圆载具门包含：外门部分，其上面具有网格，而该网格界定出一阵列之孔；内门部分，与该外门部分相间隔开来，且与外门部分界定出单一个腔室，而该腔室系实质上延伸于该晶圆载具门之整个高度和宽度；以及一对锁定机构，安装至该晶圆载具门，以便将该门锁定至该壳体；此等锁定机构皆系定位于该腔室中，其中，该等孔系被定位于该等锁定机构附近，以有助于清除由该对锁定机构中之任一个所产生的污染物。如申请专利范围第20项之前开口式晶圆容器，其中，该内门部分系由不同于该外门部分的材料所制成。