电极构造体，电容器及电极构造体之制造方法

摘要

本发明系提供基材的铝材与介电质层间之密接性优越、可维持所需耐电压，且可获得高静电电容的电极构造体及其制造方法暨具有该电极构造体的电容器。电极构造体系具备有：铝材；形成于该铝材表面上之含阀金属的介电质层；以及形成于铝材与介电质层之间，且含有铝与碳的介存层。电极构造体之制造方法系包括有：将含有阀金属的介电质先质物质形成于铝材表面上的步骤；在含有含烃物质的空间中，配置已形成有介电质先质物质之铝材的步骤；以及在含有含烃物质的空间中，于配置着已形成有介电质先质物质之铝材的状态下，施行加热的步骤。

主权项

一种电极构造体，系具备有：铝材；介电质层，其系形成于上述铝材表面上，且含有阀金属；以及介存层，其系形成于上述铝材与上述介电质层之间，且含有铝与碳。如申请专利范围第1项之电极构造体，其中，上述阀金属系从钛、钽、铪、锆及铌所构成群组中选择之任一种以上。如申请专利范围第1项之电极构造体，其中，上述介电质层系含有矽氧化物。如申请专利范围第1项之电极构造体，其中，上述介存层系含有结晶化之铝的碳化物。如申请专利范围第1项之电极构造体，其中，上述介存层系含有铝氧化物。一种电极构造体之制造方法，系包括有：将含有阀金属的介电质先质物质形成于铝材表面上的步骤；在含有含烃物质的空间中，配置已形成有上述介电质先质物质之上述铝材的步骤；以及在含有含烃物质的空间中，于配置着已形成有上述介电质先质物质之上述铝材的状态下施行加热的步骤。如申请专利范围第6项之电极构造体之制造方法，其中，在上述含有含烃物质的空间中，于配置着已形成上述介电质先质物质之上述铝材的状态下施行加热的步骤，系在450℃以上且未满660℃的温度范围内实施。如申请专利范围第6项之电极构造体之制造方法，其中，在上述含有含烃物质的空间中，于配置着已形成上述介电质先质物质之上述铝材的状态下施行加热步骤之后，系进一步具备将上述铝材施行阳极氧化的步骤。一种电容器，系具备有申请专利范围第1项之电极构造体。