金属薄膜之形成方法及金属薄膜

摘要

本发明系提供一种藉由低温烧焙、形成低电阻之金属薄膜的方法及金属薄膜。;其特征系于至少1种选自Ag、Au、Ni、Pd、Rh、Ru及Pt之金属、或2种以上此等金属所成之合金周围，使附着做为分散剂之有机物所成之金属奈米粒子于含有水及/或有机酸之气体环境下烧焙后，取得金属薄膜。此有机酸为碳数4以下之饱和脂肪酸或不饱和脂肪酸。

主权项

一种金属薄膜之形成方法，其系含有以下步骤之金属薄膜的形成方法，该步骤为于选自Ag、Au、Ni、Pd、Rh、Ru及Pt之至少1种金属，或2种以上此等金属所成合金之周围，附着作为分散剂之选自具有直链或支链构造之碳数6~22之饱和脂肪酸及不饱和脂肪酸以及碳数6~13的脂肪族胺之至少1种有机物，得到金属奈米的分散液之步骤、将前述分散液涂布于基板表面的步骤、与烧焙涂布于前述基板表面的分散液，形成金属薄膜之步骤；将前述烧焙在选自碳数4以下的饱和脂肪酸及不饱和脂肪酸的有机酸，或含有该有机酸及水的气体环境下，于80℃以上130℃以下的温度下进行。如申请专利范围第1项之金属薄膜之形成方法，其中该有机酸为甲酸或乙酸。一种金属薄膜，其特征系依申请专利范围第1项、或第2项之金属薄膜之形成方法所形成者。