有机物薄膜堆积用分子线源

摘要

本发明系提供一种有机物薄膜堆积用分子线源，可于大型基板的成膜面上形成均匀的薄膜，同时在成膜材料的分子放出口处不析出成膜材料，不容易引起放出口的狭窄或闭塞。;该有机物薄膜堆积用分子线源，系从分子加热部12侧，至将所产生的成膜材料的分子朝向成膜面放出的分子放出口14为止之间，配置阀33，更于分子放出口14侧设置加热所放出的成膜材料的分子之加热器18、19。在分子放出口14侧具有：具有倾斜状的导引壁之外导引13；以及设置于该外导引的内侧，具有倾斜状的导引壁的导引壁的内导引16，在此等外导引13与内导引16之间，朝向分子的放出方向，形成有直径渐渐增大的分子放出路17。加热器18、19系分别设置于外导引13与内导引16，另外加热器20以贯通分子放出口14的方式设置。

主权项

一种分子束源，用于蒸发有机材料和在供形成薄膜的基板上堆积该有机材料的薄膜，该分子束源包含：蒸汽产生源，用于产生该有机材料的分子，该蒸汽产生源包括用于容纳该有机材料的坩锅、设置在该坩锅附近用于加热及蒸发该有机材料的第一加热器、和用于控制已蒸发之该有机材料至分子排放室之流率的阀；该阀包括具有分子通过开口的阀座、和用于规制已蒸发之该有机材料经过该分子通过开口至引入通道之流动的柱塞，该引入通道被设置成正交于该坩锅；分子排放室，其和该引入通道相连通，该分子排放室包括连通于该引入通道的圆筒形分子加热器室、和设置在该分子加热器室周围的第二加热器，该第二加热器用于加热通过该分子加热器室之已蒸发的该有机材料之分子；外部引导件，设置在该分子排放室的末端，该外部引导件包括内壁，当该内壁延伸远离该分子排放室且终止于分子排放开口时，该内壁逐渐向外成推拔；内部引导件，设置在该外部引导件的对面，该内部引导件具有外壁表面，该外壁表面具有和该外部引导件之该内壁表面相同的斜度，该内部引导件的该外壁表面和该外部引导件的该内壁表面之间形成分子排放通道，该分子排放通道从该分子加热器室延申至该分子排放开口，且该内部引导件可相对于该外部引导件调整定位，以调整该分子排放开口的尺寸；冷却/加热单元，设置在该外部引导件的外侧，该冷却/加热单元包括用于加热该外部引导件及该分子排放通道的第三加热器、和用于冷却该外部引导件的冷却器；第四加热器，设置在该内部引导件内，用于加热该内部引导件及该分子排放通道，该第四加热器比该第二加热器具有较高的缠绕密度；和第五加热器，设置在该分子排放通道内，且在该内部引导件和该外部引导件之间延伸，用于加热该分子排放通道。