发明名称 SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法
摘要 提供一种SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法,系能将SMIF开启机于处理装置之安装位置,容易在前后方向进行调整。;将SMIF开启机安装于处理装置时,能将SMIF开启机之安装位置在前后方向调整之位置调整转接器100,系以SMIF开启机1之载入埠2为边界,由上侧调整部200与下侧调整部300所构成。上侧调整部200,系由介于SMIF开启机侧之开闭器5与处理装置之开口部之间,且能固定于SMIF开启机侧,并于前后方向伸缩调整自如之第1组装构造体所构成,下侧调整部300,系由介于SMIF开启机1下方与处理装置之开口下方之间,且能固定于SMIF开启机侧及处理装置侧之两侧,并于前后方向伸缩调整自如之第2组装构造体所构成。
申请公布号 TWI376009 申请公布日期 2012.11.01
申请号 TW096112833 申请日期 2007.04.12
申请人 平田机工股份有限公司 发明人 中村博史;松田清二
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种SMIF开启机之位置调整转接器,其特征在于:将SMIF开启机安装于处理装置时,能将该SMIF开启机于该处理装置之安装位置在前后方向进行调整之位置调整转接器,系以该SMIF开启机之载置台为边界由上侧调整部与下侧调整部构成;该上侧调整部,系由介于该SMIF开启机侧之开闭器与该处理装置之开口部之间,且能固定于该SMIF开启机侧、并于前后方向伸缩调整自如之第1组装构造体所构成;该下侧调整部,系由介于该SMIF开启机下方与该处理装置之开口下方之间,且能固定于该SMIF开启机侧及该处理装置侧之两侧、并于前后方向伸缩调整自如之第2组装构造体所构成;该第1组装构造体系具备矩形状之滑动式框体;该框体系由上叠套与下叠套二重或多重滑动自如地嵌合所构成。如申请专利范围第1项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该框体能于上下左右4处角部自由调整其滑动量。如申请专利范围第1项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该第2组装构造体系由横倒H字形之一对板体组装体所构成;该组装体系能自由调整该一对板体间之间隔。如申请专利范围第3项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该组装体能于上下左右4处角部自由调整该一对板体间之间隔。如申请专利范围第4项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该组装体之上下左右4处角部,系配置于自该SMIF开启机本体往左右方向外侧突出之位置。如申请专利范围第3至5项中任一项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,可将该一对板体间之间隔调整自如的调整机构,系具备位准调整螺栓。如申请专利范围第3至5项中任一项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该一对板体系于两板相互对向面之大致中央部具备卡止构件,此等卡止构件于上下方向卡合。如申请专利范围第1至5项中任一项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该下侧调整部系固定成能拆装自如于该SMIF开启机侧及该处理装置侧之两侧。如申请专利范围第1至5项中任一项之SMIF开启机之位置调整转接器,其中,该第1组装构造体与该第2组装构造体系于上下方向结合成一体。一种SMIF开启机之位置调整方法,其特征在于:将SMIF开启机安装于处理装置时,能将该SMIF开启机于该处理装置的安装位置在前后方向进行调整之位置调整方法,系以该SMIF开启机之载入埠为边界,由上侧调整方法、与下侧调整方法所构成;该上侧调整方法,系将介于该SMIF开启机侧之开闭器与该处理装置之开口部之间,且将能固定于该SMIF开启机侧之上侧调整部伸缩调整于前后方向的动作;该下侧调整方法,系将介于该SMIF开启机下方与该处理装置之开口下方之间,且将能拆装自如地固定于该SMIF开启机侧及该处理装置侧之两侧的下侧调整部伸缩调整于前后方向的动作;该上侧调整部具备矩形之滑动式框体;该框体系由上叠套与下叠套二重或多重滑动自如地嵌合所构成。如申请专利范围第10项之SMIF开启机之位置调整方法,其中,该下侧调整部系由横倒H字形之一对板体组装体所构成;该组装体系能自由调整该一对板体间之间隔。
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