发明名称 具有整合辅助之模具
摘要 一种模头上模部分(36),用于对齐形成于该模头之下模部分(12)中之第一微孔(18)的第一阵列中的探针插销(14),大致上分别包括一间隔件(38)、一支撑框架(40),及第一装配辅助膜(42)与第二装配辅助膜(44)。间隔件(38)适合接触该下模部分(12)。第一装配辅助膜(42)典型位于第二表面(48)及支撑框架(40)之间,且包括一适于容纳探针插销(14)之第二微孔(50)的第二阵列。第二装配辅助膜(44)大致与该第一装配辅助膜(42)接触或紧密接近,且具有一适于容纳探针插销(14)之第三微孔(52)的第三阵列。第二微孔(50)之第二阵列及第三微孔(52)的第三阵列被构形以彼此对准,但两者均大约以探针尖(20)及探针头(28)间之横向距离而与第一微孔(18)之第一阵列偏移。
申请公布号 TWI375798 申请公布日期 2012.11.01
申请号 TW093134933 申请日期 2004.11.15
申请人 温沃斯实验室公司 发明人 亚历山大 布兰铎夫
分类号 G01R1/02 主分类号 G01R1/02
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种模头之一上模部分(36),用于对齐形成于该模头之一下模部分(12)中的第一微孔(18)之一第一阵列中的探针插销(14),其包含:一间隔部分(38),其包括第一及第二表面(46、48),该第一表面(46)适于接触该下模部分(12);一支撑框架(40);及一第一装配辅助膜(42),其位于该第二表面(48)及该支撑框架(40)之间,且具有第二微孔(50)之一第二阵列,其适于容纳该等探针插销(14),其中该第一装配辅助膜系从一单一层、非成层膜所制作,且该第一装配辅助膜非一成层物之部分。如请求项1之上模部分(36),其进一步包含:一第二装配辅助膜(44),其接近该第一装配辅助膜(42),且具有一第三微孔(52)之第三阵列,其适于容纳该等探针插销(14)。如请求项2之上模部分(36),其进一步包含:一薄垫片(62),其环绕于该第三微孔(52)之第三阵列的一外周(60);及一薄片(64),其具有过大微孔(66),该薄片(64)位于该第二装配辅助膜(44)的顶部上。如请求项2或3之上模部分(36),其中该第二及第三阵列(50、52、74、76)适于与该第一微孔(18)之第一阵列呈偏离。如请求项1至3中任一项之上模部分(36),其中该间隔部分(38)包括至少第一及第二可分离部分(38a、38b)。如请求项2或3之上模部分(36),其中该第一装配辅助膜(42)及该第二装配辅助膜(44)系至少半透明的。一种模头之上模部分(36),用于对齐形成于该模头之一下模部分(12)中的第一微孔(18)之一第一阵列中的探针插销(14),其包含:一间隔部分(38),其包括第一及第二表面(46、48),该第一表面(46)适于接触该下模部分(12);一第一支撑框架(67),其位于该第二表面(48)上方;一装配辅助膜(68),其具有第二微孔(74)之一第二阵列,其适于容纳该等探针插销(14);一第二支撑框架(70),其位于该第一支撑框架(67)及该装配辅助膜(68)之上方;及一薄片(72),其与该第二支撑框架(70)接合,且具有第三微孔(76)之一第三阵列,其适于容纳该等探针插销(14)。如请求项7之上模部分(36),其中该装配辅助膜(68)系藉由该第一支撑框架(67)而被保持在绷紧状态。如请求项7至8中任一项之上模部分(36),其中该第二及第三阵列(50、52、74、76)适于与该第一微孔(18)之第一阵列呈偏离。如请求项7至8中任一项之上模部分(36),其中该间隔部分(38)包括至少第一及第二可分离部分(38a、38b)。如请求项中7或8之上模部分(36),其中该装配辅助膜(68)系至少半透明的。如请求项7之上模部分(36),其进一步包含一与该薄片接触之第二装配辅助膜,该第二装配辅助膜具有一第四微孔之第四阵列,其适于容纳该探针插销。一种在具有上及下部分(36、12)之一模头中替换一探针插销(14)之方法,其包含下列步骤:抓取该探针插销(14);藉由将该探针插销(14)由该上及下部分(36、12)向上及向外拉起而移除该探针插销(14);插置一替换探针插销(14)于与在该移除步骤中所移除之该探针插销(14)相同之位置,其藉由向下通过上及下部分(36、12)两者插置该探针插销(14);及替换在该移除步骤中所移除之至少一装配辅助膜(44)。
地址 美国