基板收纳容器、基板收纳体、及基板输送装置

摘要

一种基板收纳容器，用以收纳复数之基板叠置构成的叠层体，该基板收纳容器具有支持台及推压机构，前述支持台具有可将基板以水平状态载置之支持面，前述推压机构系对前述支持台上载置的叠层体顶面整个区域施加均匀之推压力，以将前述叠层体推压固定于前述支持台，该推压机构具有负荷支持板及气囊，前述负荷支持板连结于前述支持台，而使前述支持台上所载置的叠层体顶面相对，前述气囊配置于前述负荷支持板及前述叠层体之间，受到前述负荷支持板支持并对前述叠层体的整个顶面区域施加均匀之压力。

主权项

一种基板收纳容器，用于收纳复数之基板叠置构成之叠层体，包含：补强板材，配置于该叠层体之上下；支持台，具有可于基板成水平之状态下载置受该补强板材夹住的该叠层体的支持面；及推压机构，可对该支持台上所载置之叠层体整个顶面透过该补强板材施加均匀之推压力，将该叠层体压紧于该支持台上而予以固定，且该补强板材系以发泡体为内层FRP为外层的叠层板或蜂巢板。如申请专利范围第1项之基板收纳容器，其中，该推压机构具有：负荷支持板，连结于该支持台而设置，并与该支持台上所载置之叠层体顶面相面对；及气囊，配置在该负荷支持板与叠层体之间，受该负荷支持板所支持且对该叠层体之整个顶面区域施加均匀之推压力。如申请专利范围第1项之基板收纳容器，其中，该推压机构具有：负荷支持板，连结于该支持台而设置，并与该支持台上所载置之叠层体顶面相面对；及气囊，配置在该负荷支持板与叠层体之间，受该负荷支持板所支持且对该叠层体之整个顶面区域施加均匀之推压力；该支持台为托板，于该托板上以可装卸方式安装有盖体，该盖体包围该托板上所载置之叠层体，该盖体之顶板系作为该负荷支持板。如申请专利范围第1项之基板收纳容器，其中，该推压机构具有：负荷支持板，连结于该支持台并与该支持台上所载置之叠层体顶面相对；及气囊，配置于该负荷支持板与该叠层体之间，由该负荷支持板所支持且对该叠层体整个顶面区域施加均匀之推压力；该支持台为托板，于该托板上以可装卸方式安装有盖体，该盖体包围该托板上所载置之叠层体，该盖体之顶板系作为该负荷支持板；并且，该基板收纳容器具有收纳内箱用之外箱，该内箱系由该托板及该盖体所构成，而该外箱系由第二之托板及第二之盖体所构成。如申请专利范围第3项或第4项之基板收纳容器，其中，更包含调整机构，调整对该气囊提供的空气压力。如申请专利范围第1项之基板收纳容器，其中，该推压机构具有：弹性板材，配置于载置在该支持台顶面的叠层体上；负荷支持板，配置于该弹性板材之顶面；及连结机构，将该负荷支持板连结于该支持台，以使该负重支持板对该弹性板材加压使其弹性变形，并隔着该弹性板材对该叠层体整个顶面区域施加均匀之推压力。一种基板收纳体，系将隔着间隔体叠置复数之基板所形成之叠层体收纳于申请专利范围第1项的基板收纳容器以形成。一种基板收纳体，具有：第1支持板与第2支持板；及叠层体，隔着间隔体叠置复数之基板而形成，且该叠层体受该第1支持板与第2支持板所夹住并透过该第1支持板与第2支持板而受均匀之推压力压紧支持着，该第1支持板与第2支持板系蜂巢板或三夹板。如申请专利范围第8项之基板收纳体，其中，该压紧支持系将该第1支持板与该第2支持板的外周以带子束紧。如申请专利范围第8项之基板收纳体，其中，该压紧支持系将该第1支持板与该第2支持板的外周以带子束紧，且该带子串接设置有弹簧构造。如申请专利范围第8项之基板收纳体，其中，该压紧支持系将该第1支持板与该第2支持板以夹钳固定。如申请专利范围第8项之基板收纳体，其中，该压紧支持系将该第1支持板与该第2支持板以螺栓固定。如申请专利范围第8项之基板收纳体，系将该基板收纳体再收纳于箱体中，该箱体包含：托板，具有可载置该基板收纳体的支持面；及可装卸之盖体，可将载置于该托板上之基板收纳体覆盖住。如申请专利范围第8项之基板收纳体，系将该基板收纳体再收纳于箱体中，该箱体包含：内箱，具有：托板，设有可载置该基板收纳体的支持面；及可装卸盖体，可将载置于该托板上之基板收纳体覆盖住；及外箱；收纳该内箱，由第二之托板及第二之盖体构成。一种输送装置，包含：架台，用以将由复数之基板所叠置构成之叠层体以补强板材予以夹住，并透过该补强板材施加均匀之推压力而予以推压支持并收纳；及容器，用以收纳该架台，于其内部底面具有缓冲元件，可将该架台固定于该缓冲元件上；其特征为：该架台具有吸收振动之低频成分的特性，该容器具有吸收振动之高频成分的特性，且该补强板材系蜂巢板。如申请专利范围第15项之输送装置，其中，该缓冲元件为油压减震器。如申请专利范围第15项之输送装置，其中，该缓冲元件为黏弹性体。如申请专利范围第15项之输送装置，其中，该架台系由底部元件及竖立固定于该底部元件之背面元件所构成，并包含：架台本体，用以竖立并支持该基板；加压体，与该背面元件对向配置于该底部元件上，且可将该叠层体朝该背面元件侧；及包围元件，可安装在该背面元件与该加压体上。如申请专利范围第18项之输送装置，其中，该加压体系由多数之螺钉及正面元件所构成。如申请专利范围第18项之输送装置，其中，该加压体系由设有多数之空气弹簧的正面元件所构成。如申请专利范围第15项之输送装置，其中，该架台包含：底部元件；加压体，可将该底部元件上所载置之该叠层体朝该底部元件侧推压；及包围元件，可安装于该底部元件上。如申请专利范围第15项之输送装置，其中，该叠层体系将复数之基板隔着间隔体叠置构成。一种输送装置，包含：架台，用以将由复数之基板叠置构成之叠层体以补强板材予以夹住，并透过该补强板材施加均匀之推压力而予以推压支持并收纳；及容器，用以收纳该架台，并于其内部顶面具有弹簧机构，藉由该弹簧机构悬吊保持该架台；该输送装置之特征为：该架台具有吸收振动之低频成分的特性，该容器具有吸收振动之高频成分的特性，且该补强板材系蜂巢板。如申请专利范围第23项之输送装置，其中，该叠层体系将复数之基板隔着间隔体叠置构成。一种输送装置，包含：架台，用以将由复数之基板叠置所构成之叠层体以补强板材予以夹住，并透过该补强板材施加均匀之推压力而予以推压支持并收纳；及箱状体，用以收纳该架台，由具有缓冲元件用以支持该架台的底部与配置于该底部上侧之盖子所构成，该输送装置之特征为：该架台具有吸收振动之低频成分的特性，该底部具有吸收振动之高频成分的特性，且该补强板材系蜂巢板。如申请专利范围第25项之输送装置，其中，该叠层体系将复数之基板隔着间隔体叠置构成。一种输送装置，系将申请专利范围第25项的输送装置周围以架子围绕而成；该架子具有底部元件及竖立于该底部元件角落的4根支柱及连结于该支柱上部之4根梁。一种输送装置，包含：支持台，具有一支持面，该支持面能将以复数之基板隔着间隔体叠置构成之叠层体，在基板成水平状态下加以载置；基板收纳体，将该叠层体收纳于一基板收纳容器而构成，该基板收纳容器具有一推压机构，将补强板材配置于载置于该支持台之叠层体的上下，且能对该叠层体整个顶面透过该补强板材施加均匀之推压力以将该叠层体推压固定于该支持台上；及容器，收纳该基板收纳体，于内部底面具有缓冲元件，将该基板收纳体固定于该缓冲元件上；该输送装置的特征为：该基板收纳体具有吸收振动之低频成分的特性，该容器具有吸收振动之高频成分的特性，且该补强板材系以发泡体为内层FRP为外层的叠层板或蜂巢板。如申请专利范围第28项之输送装置，其中，该推压机构包含：负荷支持板，连结设置于该支持台，而与该支持台所载置之叠层体顶面相向；及气囊，配置于该负荷支持板及该叠层体之间，受到该负荷支持板支持，且对该叠层体整个顶面区域施加均匀之推压力。一种输送装置，包含：基板收纳体，将原基板收纳体(具备第1支持板、第2支持板及隔着间隔体叠置复数之基板所构成之叠层体，且该叠层体被该第1支持板及第2支持板夹住并透过该第1支持板与第2支持板而受均匀之推压力压紧支持而形成)收纳于箱体(由具有可载置该原基板收纳体支持面的托板及可覆盖载置于该托板上之该原基板收纳体的可装卸盖体所构成)中；及容器，用以存放收纳于该箱体内的该基板收纳体，于其内部底面具有缓冲元件，且该收纳于该箱体之基板收纳体固定于该缓冲元件上；该输送装置之特征为：该基板收纳体具有吸收振动之低频成分的特性，该容器具有吸收振动之高频成分的特性，且该第1支持板与第2支持板系蜂巢板或三夹板。如申请专利范围第30项之输送装置，其中，该压紧支持系将该第1之支持板与该第2之支持板外周围以带子束紧。