基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种能够一方面将翻转交接部之数量减少至最低限度，一方面极力缩短搬运机器人之待机时间的基板处理装置及基板处理方法。翻转交接部RVPASS2包含第3保持机构93以及第4保持机构94。第3保持机构93与第4保持机构94夹着旋转中心轴RX而设置于上下对称位置上，并围绕着旋转中心轴RX之周围旋转180°而调换彼此之位置。搬入侧之搬运机器人于高度位置H4将基板交给第3保持机构93或者第4保持机构94。藉由翻转交接部RVPASS2而正反翻转后之基板由搬出侧之搬运机器人于高度位置H3上自第3保持机构93或者第4保持机构94收取。搬入侧之搬运机器人可于先行之基板的翻转处理结束之前，开始搬运后续之基板。

主权项

一种基板处理装置其系连续处理复数个基板，且包含：传送侧区段，其系具有第1搬运机器人，并送出基板；收取侧区段，其系具有第2搬运机器人，并收取自上述传送侧区段送出之基板；及翻转交接部，其系设于上述传送侧区段与上述收取侧区段之间，并使由上述第1搬运机器人交给之基板的表面与背面翻转，而由上述第2搬运机器人收取；上述翻转交接部包括：保持基板之第1保持机构；保持基板之第2保持机构；及使上述第1保持机构及上述第2保持机构围绕着沿水平方向之旋转中心轴之周围旋转之旋转驱动机构；上述第1保持机构及上述第2保持机构夹着上述旋转中心轴而设于对称位置上；上述旋转驱动机构使上述第1保持机构及上述第2保持机构以于第1位置与第2位置之间相互调换之方式旋转；上述第1搬运机器人于上述第1位置将基板交给上述第1保持机构或者上述第2保持机构；上述第2搬运机器人于上述第2位置自上述第1保持机构或者上述第2保持机构收取翻转后之基板。如请求项1之基板处理装置，其中上述第1搬运机器人包含m个(m为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运m片基板；上述第2搬运机器人包含n个(n为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运n片基板；上述第1保持机构及上述第2保持机构分别包含与m或n中较大者同数之基板保持机构。一种基板处理装置，其系连续处理复数个基板，且包含：处理区段，其系具有搬运机器人及藉由该搬运机器人搬运基板之处理部；索引器(indexer)区段，其系具有移载机器人，将未处理基板交给上述处理区段，并且自上述处理区段收取处理完毕之基板；第1翻转交接部，其系设于上述索引器区段与上述处理区段之间，使自上述移载机器人移交之未处理基板之表面与背面翻转，而使上述搬运机器人收取；及第2翻转交接部，其系设于上述索引器区段与上述处理区段之间，使自上述搬运机器人移交之处理完毕的基板之表面与背面翻转，而使上述移载机器人收取；上述第1翻转交接部包含：保持基板之第1保持机构；保持基板之第2保持机构；及使上述第1保持机构及上述第2保持机构围绕着沿着水平方向之第1旋转中心轴之周围旋转之第1旋转驱动机构；上述第2翻转交接部包含：保持基板之第3保持机构；保持基板之第4保持机构；及使上述第3保持机构及上述第4保持机构围绕着沿着水平方向之第2旋转中心轴之周围旋转之第2旋转驱动机构；上述第1保持机构及上述第2保持机构夹着上述第1旋转中心轴而设于对称位置上；上述第3保持机构及上述第4保持机构夹着上述第2旋转中心轴而设于对称位置上；上述第1旋转驱动机构使上述第1保持机构及上述第2保持机构以于第1位置与第2位置之间相互调换之方式旋转；上述第2旋转驱动机构使上述第3保持机构及上述第4保持机构以于第3位置与第4位置之间相互调换之方式旋转；上述移载机器人于上述第1位置将未处理基板交给上述第1保持机构或上述第2保持机构，并且于上述第3位置自上述第3保持机构或者上述第4保持机构收取处理完毕之基板；上述搬运机器人于上述第2位置自上述第1保持机构或者上述第2保持机构收取未处理基板，并且于上述第4位置将处理完毕之基板交给上述第3保持机构或者上述第4保持机构。如请求项3之基板处理装置，其中上述移载机器人包含m个(m为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运m片基板；上述搬运机器人包含n个(n为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运n片基板；上述第1保持机构、上述第2保持机构、上述第3保持机构及上述第4保持机构分别包含与m或者n中较大者同数之基板保持机构。如请求项3之基板处理装置，其进一步包含：第1载置部，其系设于上述索引器区段与上述处理区段之间，并载置自上述移载机器人移交之未处理基板而使上述搬运机器人收取；及第2载置部，其系设于上述索引器区段与上述处理区段之间，并载置自上述搬运机器人移交之处理完毕之基板而使上述移载机器人收取。如请求项3至5中任一项之基板处理装置，其中上述处理部包含背面清洗单元，其清洗基板之背面。一种基板处理方法，其系自送出基板之传送侧区段之第1搬运机器人，以使基板之表面与背面翻转之翻转交接部为中继，将复数个基板连续搬运至收取基板之收取侧区段之第2搬运机器人，且该方法包含以下步骤：a)上述第1搬运机器人于第1位置将基板交给上述翻转交接部之第1保持机构之步骤；b)上述第2搬运机器人于第2位置自上述翻转交接部之第2保持机构收取基板之步骤；c)使上述翻转交接部之上述第1保持机构以及上述第2保持机构围绕着沿着水平方向之旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第1保持机构移动至上述第2位置，使上述第2保持机构移动至上述第1位置之步骤；d)上述第1搬运机器人于上述第1位置将基板交给上述第2保持机构之步骤；e)上述第2搬运机器人于上述第2位置自上述第1保持机构收取基板之步骤；f)使上述翻转交接部之上述第1保持机构以及上述第2保持机构围绕着上述旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第1保持机构移动至上述第1位置，使上述第2保持机构移动至上述第2位置之步骤；及g)反覆步骤a)至步骤f)之步骤。如请求项7之基板处理方法，其中上述第1搬运机器人包含m个(m为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运m片基板；上述第2搬运机器人包含n个(n为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运n片基板；上述第1保持机构以及上述第2保持机构分别包含与m或者n中较大者同数之基板保持机构。一种基板处理方法，其系于具有处理部之处理区段之搬运机器人与索引器区段之移载机器人之间连续搬运复数个基板者，且包含以下步骤：a)上述移载机器人于第1位置，将未处理基板交给使基板之表面与背面翻转之第1翻转交接部的第1保持机构之步骤；b)上述搬运机器人于第2位置，自上述第1翻转交接部之第2保持机构收取未处理基板之步骤；c)使上述第1翻转交接部之上述第1保持机构以及上述第2保持机构围绕着沿着水平方向之第1旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第1保持机构移动至上述第2位置，使上述第2保持机构移动至上述第1位置之步骤；d)上述移载机器人于上述第1位置将未处理基板交给上述第2保持机构之步骤；e)上述搬运机器人于上述第2位置自上述第1保持机构收取未处理基板之步骤；f)使上述第1翻转交接部之上述第1保持机构以及上述第2保持机构围绕着上述第1旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第1保持机构移动至上述第1位置，使上述第2保持机构移动至上述第2位置之步骤；及g)反覆步骤a)至步骤f)之步骤。如请求项9之基板处理方法，其进一步包含以下步骤：h)上述移载机器人于第3位置，自使基板之表面与背面翻转之第2翻转交接部之第3保持机构收取处理完毕之基板之步骤；i)上述搬运机器人于第4位置，将处理完毕之基板交给上述第2翻转交接部之第4保持机构之步骤；j)使上述第2翻转交接部之上述第3保持机构以及上述第4保持机构围绕着沿着水平方向之第2旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第3保持机构移动至上述第4位置，使上述第4保持机构移动至上述第3位置之步骤；k)上述移载机器人于上述第3位置自上述第4保持机构收取处理完毕之基板之步骤；l)上述搬运机器人于上述第4位置将处理完毕之基板交给上述第3保持机构之步骤；m)使上述第2翻转交接部之上述第3保持机构以及上述第4保持机构围绕着上述第2旋转中心轴之周围旋转180°，并使上述第3保持机构移动至上述第3位置，使上述第4保持机构移动至上述第4位置之步骤；及n)反覆步骤h)至步骤m)之步骤。如请求项10之基板处理方法，其中上述移载机器人包含m个(m为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运m片基板；上述搬运机器人包含n个(n为1以上之整数)搬运手臂，以同时搬运n片基板；上述第1保持机构、上述第2保持机构、上述第3保持机构以及上述第4保持机构分别包含与m或者n中较大者同数之基板保持机构。如请求项7至10中任一项之基板处理方法，其中上述处理部清洗基板之背面。