| 主权项 |
一种翻转装置，包括：一翻转架，其内部为中空，该翻转架具有相对的一第一吸附面与一第二吸附面，且该第一吸附面与该第二吸附面分别设有多个第一孔洞；该翻转架翻转后，该第一吸附面与该第二吸附面位置对调；一气流导引单元，包括：一控制模组；一第一管线组，一端连接至该控制模组，另一端伸入该翻转架内部并连接至设于该第一吸附面的该些第一孔洞；以及一第二管线组，一端连接至该控制模组，另一端伸入该翻转架内部并连接至设于该第二吸附面的该些第一孔洞，其中该控制模组适于使该第一吸附面与该第二吸附面随该翻转架翻转而交替地吸附和卸载多个基板，而该翻转架适于翻转吸附于该第一吸附面与该第二吸附面其中之一的该基板。如申请专利范围第1项所述之翻转装置，其中该翻转架更具有多个支撑管与用以吸附该基板的多个吸附垫，每一吸附垫具有一第二孔洞，该些支撑管的一端连接于该些第一孔洞，该些吸附垫套设于该些支撑管的另一端，且该第一管线组与该第二管线组系经由该些第一孔洞与该些支撑管而连接至该些第二孔洞。如申请专利范围第2项所述之翻转装置，更包括一机械手臂，其具有多个承载臂与多个吸附嘴，该些吸附嘴设于该些承载臂上，且该支撑管之高度实质大于该机械手臂的该承载臂与该吸附嘴的叠加高度，以供该机械手臂伸入该些支撑管之间。如申请专利范围第2项所述之翻转装置，更包括一第一机械手臂，而该第一吸附面与该第二吸附面其中之一面向一接收侧，该第一吸附面与该第二吸附面其中另一面向一卸载侧，且该第一机械手臂适于伸入面向该接收侧的该些支撑管之间，以将该基板运送至面向该接收侧的该些吸附垫上。如申请专利范围第2项所述之翻转装置，更包括一第二机械手臂，而该第一吸附面与该第二吸附面其中之一面向一接收侧，该第一吸附面与该第二吸附面其中另一面向一卸载侧，且该第二机械手臂适于伸入面向该卸载侧的该些支撑管之间，以接收面向该卸载侧的该基板。如申请专利范围第1项所述之翻转装置，其中该翻转架包括：一封闭框，其内部为中空；以及多个中空柱，连接于该封闭框，且每一中空柱的内部空间与该封闭框的内部空间相通，且该些第一孔洞是设置于每一中空柱之相对的两表面。如申请专利范围第6项所述之翻转装置，其中该些中空柱系平行排列。如申请专利范围第6项所述之翻转装置，其中该封闭框具有一转轴，该转轴包括相对的二枢接部，该些枢接部分别位于该封闭框的相对两侧边。如申请专利范围第8项所述之翻转装置，其中该些枢接部内部为中空，而该第一管线组与该第二管线组系经由该些枢接部至少其中之一的内部伸入该翻转架内部。如申请专利范围第8项所述之翻转装置，更包括一固定架，而该些枢接部系枢接于该固定架。如申请专利范围第1项所述之翻转装置，更包括一固定架，而该翻转架系枢接于该固定架。如申请专利范围第1项所述之翻转装置，其中该控制模组包括：至少一第一控制阀，连接至该第一管线组；以及至少一第二控制阀，连接至该第二管线组。一种翻转基板的方法，适于依序翻转多个基板，该翻转基板的方法包括：(a)提供具有一翻转架的一翻转装置，该翻转架具有相对的二吸附面，且当该些吸附面其中之一面向一接收侧时，该些吸附面其中另一面向一卸载侧；(b)将该些基板其中之一传送至面向该接收侧的该吸附面，以藉由位于该接收侧的该吸附面吸附该基板；(c)翻转该翻转架，以使吸附该基板的该吸附面面向该卸载侧，且使未吸附该基板的该吸附面面向该接收侧；(d)接收面向该卸载侧的该吸附面所吸附的该基板；以及(e)重复步骤(b)至(d)。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中步骤(b)是藉由一第一机械手臂传送该基板，其中该第一机械手臂吸附该基板之一第一面并传送至面向该接收侧的该吸附面之后，面向该接收侧的该吸附面吸附该基板之该第一面。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中步骤(c)是使该翻转架沿一转轴翻转180度。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中步骤(d)是藉由一第二机械手臂接收该基板，其中该第二机械手臂吸附该基板之一第一面以接收该基板之前，面向该卸载侧的该吸附面吸附该基板之该第一面。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中步骤(d)是藉由一第二机械手臂接收该基板，其中该第二机械手臂伸入面向该卸载侧的该吸附面与该基板之间来接收该基板。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中在步骤(d)中，在接收该基板之前更包括将该翻转架从一第一位置移动至一第二位置，且在接收该基板之后更包括将该翻转架从该第二位置移动至该第一位置。如申请专利范围第13项所述之翻转基板的方法，其中在步骤(c)中，在翻转该翻转架之前更包括将该翻转架从一第一位置移动至一第二位置，而在步骤(d)中，在接收该基板之后更包括将该翻转架从该第二位置移动至该第一位置。 |
