发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION COATING, ARTICLE, AND METHOD
摘要 The present invention relates to a chemical vapor deposition coating, a chemical vapor deposition article, and a chemical vapor deposition method. The coating, article, and method involve thermal decomposition of dimethylsilane to achieve desired surface properties.
申请公布号 KR20120120120(A) 申请公布日期 2012.11.01
申请号 KR20127010812 申请日期 2010.10.26
申请人 发明人
分类号 C23C16/32;B05D7/24;C23C16/56;H01L21/205 主分类号 C23C16/32
代理机构 代理人
主权项
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