用于真空处理装置的接地组件

摘要

一种真空处理室，其具有用于改善与衬底支架的电接触的装置。具体实施例提供了一种等离子体处理室，其具有用于支撑支架的基架、多个固定柱和在基架的整个区域上分散的弹性触头。所述固定柱为支架提供物理支撑，同时弹性触头提供与支架的可靠的、可重复的多点电接触。

主权项

一种真空处理室，包括：室主体；基架；设在所述基架顶面上的多个弹性触头；连接每个弹性触头至地电位的地电位路径；和，坐落在基架上并与弹性触头形成电接触的支架。