| 发明名称 | 光刻用防尘薄膜组件 | ||
| 摘要 | 提供一种可以减低将防尘薄膜组件贴附于曝光原版时的曝光原版的变形的光刻用防尘薄膜组件。用包括自重的0.008至5kgf的光刻用防尘薄膜组件贴附负荷贴附于曝光原版时，具有不发生空隙的粘着层。上述粘着层的杨氏模量为0.01至0.10MPa，拉伸粘接强度为0.02至0.10N/mm2，表面的平坦度为0至15μm。 | ||
| 申请公布号 | CN102759852A | 申请公布日期 | 2012.10.31 |
| 申请号 | CN201210127226.9 | 申请日期 | 2012.04.26 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 塚田淳一;白崎享 |
| 分类号 | G03F1/62(2012.01)I;G03F1/48(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/62(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人 | 王勇 |
| 主权项 | 一种光刻用防尘薄膜组件，其特征在于具有在用包括自重内的0.008至5kgf的贴附负荷贴附于曝光原版时不会发生空隙的粘着层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||