一种基于热平衡的水平传感器

摘要

本发明公开了一种基于热平衡的水平传感器，该水平传感器包括衬底、绝缘层、测温元件、加热元件和热隔离封装罩，绝缘层贴覆在衬底的上表面，测温元件、加热元件和热隔离封装罩分别固定在绝缘层的上表面，测温元件和加热元件位于热隔离封装罩内部，热隔离封装罩内部呈密封状态；测温元件为四个，测温元件位于加热元件的周边，每个测温元件到加热元件的距离相等，且相对的测温元件以加热元件为中心，相互对称，相邻的测温元件相对的端部距离均相等。该结构的水平传感器利用测得的相互正交的两组水平信息，得出物体的倾斜角度，并且该水平传感器体积小、功耗低。

主权项

一种基于热平衡的水平传感器，其特征在于，该水平传感器包括衬底（1）、绝缘层（2）、测温元件（3）、加热元件（4）和热隔离封装罩（5），绝缘层（2）贴覆在衬底（1）的上表面，测温元件（3）、加热元件（4）和热隔离封装罩（5）分别固定在绝缘层（2）的上表面，测温元件（3）和加热元件（4）位于热隔离封装罩（5）内部，热隔离封装罩（5）内部呈密封状态；测温元件（3）为四个，测温元件（3）位于加热元件（4）的周边，每个测温元件（3）到加热元件（4）的距离相等，且相对的测温元件（3）以加热元件（4）为中心，相互对称，相邻的测温元件（3）相对的端部距离均相等；衬底（1）的横截面为正方形，且衬底（1）横截面的边长为1—5mm，衬底（1）高度为0.2—1mm，热隔离封装罩（5）的高度为0.2—1mm。