Deposition apparatus and manufacturing method of thin film device.,申请号EP20090773295-传众专利搜索

发明名称	Deposition apparatus and manufacturing method of thin film device.
摘要
申请公布号	EP2302093(B1)	申请公布日期	2012.10.31
申请号	EP20090773295	申请日期	2009.06.16
申请人	SHINCRON CO., LTD.	发明人	SHIONO, ICHIRO;JIANG, YOUSONG;NAGAE, EKISHU;HONDA, HIROMITSU;MURATA, TAKANORI
分类号	C23C14/48;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/22;C23C14/30;G02B1/10;G02B5/28;H01J37/32	主分类号	C23C14/48
代理机构		代理人
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