发明名称 CATHODE ARC VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1055013(B1) 申请公布日期 2012.10.31
申请号 EP19990905791 申请日期 1999.02.05
申请人 PHYGEN COATINGS, INC. 发明人 KHOMINICH,VIKTOR
分类号 H01J37/32;C23C14/22;C23C14/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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