发明名称 Laserspektrometer
摘要 Ein Laserspektrometer weist eine wellenlängendurchstimmbare Laserdiode (4) und eine Kollimatorlinse (12) auf, die das divergente Licht (3) der Laserdiode (4) zu einem parallelen Lichtbündel (13) formt, um damit ein Messgas zu durchstrahlen, anschließend die Lichtintensität zu detektieren und die Konzentration einer interessierenden Gaskomponente des Messgases anhand der Minderung der Lichtintensität durch die Absorption des Lichts (3) an der Stelle einer ausgewählten Absorptionslinie der Gaskomponente zu bestimmen. Um eine Unterdrückung von Interferenzmustern mit konstruktiv einfachen und präzise arbeitenden Mitteln zu erreichen, ist ein MEMS-(Micro Electro Mechanical System-)Spiegel (17) vorhanden, der das Licht (3) der Laserdiode (4) auf die Kollimatorlinse (12) lenkt und von einer Steuereinrichtung (18) zu oszillierenden Kippbewegungen (19) angeregt wird, so dass das von dem MEMS-Spiegel (12) reflektierte Licht (3) auf unterschiedliche Bereiche der Kollimatorlinse (12) trifft.
申请公布号 DE102011082466(B3) 申请公布日期 2012.10.31
申请号 DE20111082466 申请日期 2011.09.09
申请人 SIEMENS AG 发明人 HANKIEWICZ, THOMAS;PROBST, FRANK
分类号 G01J3/02;G01J3/42;G01N21/31;G01N21/39 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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