摘要 |
Ein Laserspektrometer weist eine wellenlängendurchstimmbare Laserdiode (4) und eine Kollimatorlinse (12) auf, die das divergente Licht (3) der Laserdiode (4) zu einem parallelen Lichtbündel (13) formt, um damit ein Messgas zu durchstrahlen, anschließend die Lichtintensität zu detektieren und die Konzentration einer interessierenden Gaskomponente des Messgases anhand der Minderung der Lichtintensität durch die Absorption des Lichts (3) an der Stelle einer ausgewählten Absorptionslinie der Gaskomponente zu bestimmen. Um eine Unterdrückung von Interferenzmustern mit konstruktiv einfachen und präzise arbeitenden Mitteln zu erreichen, ist ein MEMS-(Micro Electro Mechanical System-)Spiegel (17) vorhanden, der das Licht (3) der Laserdiode (4) auf die Kollimatorlinse (12) lenkt und von einer Steuereinrichtung (18) zu oszillierenden Kippbewegungen (19) angeregt wird, so dass das von dem MEMS-Spiegel (12) reflektierte Licht (3) auf unterschiedliche Bereiche der Kollimatorlinse (12) trifft.
|