| 发明名称 | 改进的微机械共振器 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。 | ||
| 申请公布号 | CN102762954A | 申请公布日期 | 2012.10.31 |
| 申请号 | CN201180010540.2 | 申请日期 | 2011.02.18 |
| 申请人 | VTI技术有限公司 | 发明人 | 维耶勒·卡亚卡里 |
| 分类号 | G01C19/5621(2012.01)I | 主分类号 | G01C19/5621(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 褚海英;武玉琴 |
| 主权项 | 一种共振器结构，其具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，其特征在于，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该共振器结构的基板的给定点处的锚定点（A），从而进行所述机械振幅的设定，以使得所述第一元件和所述第二元件中的至少一个被配置成相对于所述锚定点(A)同步地振荡，并且该锚定点的位置被选择为基本上位于由所述第一元件(1)以及所述第二元件(2)的尺寸所界定的接头突出部分(1、2)内。 | ||
| 地址 | 芬兰万塔 | ||