降能器及具备该降能器的带电粒子照射系统

摘要

本发明提供一种可调节带电粒子的能量的衰减量，并且可调节带电粒子束的射束束径扩大的降能器及具备降能器的带电粒子照射系统。在降能器（10）中，设为具备衰减材料（11）的结构，使入射至衰减材料的带电粒子减速来衰减能量。设置向第1轴线方向X驱动衰减材料（11）的能量调整用驱动构件，并改变带电粒子相对于第1衰减材料的入射位置，从而可调节带电粒子的衰减量。另外，设置向第2轴线方向Y驱动衰减材料（11）的射束束径调整用驱动构件，并改变衰减材料（11）在带电粒子束的前进方向上的位置，从而调节射束束径扩大。

主权项

一种降能器，其具备使入射的带电粒子的能量衰减的衰减材料，其特征在于，具备：所述衰减材料，按照所述带电粒子的入射位置使能量以不同衰减量衰减；能量调整用驱动构件，为了改变所述带电粒子的所述入射位置，向第1轴线方向驱动所述衰减材料；及射束束径调整用驱动构件，为了调节所述带电粒子的射束束径，向与所述第1轴线方向不同的第2轴线方向驱动所述衰减材料。