微机电换能器

摘要

本申请公开了一种微机电换能器(诸如cMUT)。该换能器(511)具有衬底(501)、顶板(504)和其间的弹性结构(520)。弹性结构具有分布在装置元件区上的多个连接器(530)以垂直移动、具有分布的支承的顶层。弹性结构(520)可以是利用覆盖衬底上的空腔的中间弹性层形成的悬臂。连接器(530)在顶板(540)下限定换能空间。弹性结构(520)实现连接器的垂直位移，它使顶板(540)以类似于活塞的运动移动，以改变换能空间并实现能量转换。对于每一个可寻址换能器元件单独的单元是不必要的。可在同一衬底上形成多个装置元件。

主权项

一种具有可移动机械部件以转换能量的微机电换能器，所述换能器包括具有限定装置元件区的装置元件外围的可寻址装置元件，其中所述可寻址装置元件包括：衬底；设置在所述衬底上的顶板层；以及在所述衬底和所述顶板层之间的弹性结构，其中：(a)所述弹性结构具有连接到所述衬底的下部和连接到所述顶板层的上部；(b)所述弹性结构的上部具有连接到所述顶板层的多个连接器；(c)所述多个连接器分布在所述装置元件区上并具有充分远离所述装置元件外围朝向所述装置元件区的内部区域布置的至少一个连接器；(d)所述顶板层布置在所述连接器上以在所述顶板层下以及所述弹性结构上、所述弹性结构下或跨所述弹性结构限定换能空间；(e)所述可寻址装置元件具有至少一个换能构件以引起能量转换；以及(f)所述弹性结构实现所述多个连接器的垂直位移以在基本垂直的方向上移动顶板层，因此改变换能空间并激活换能构件。