一种靶材与背板的连接方法

摘要

本发明公开了属于溅射靶材制造领域的一种靶材与背板的连接方法。该方法首先在靶材与背板表面同时加工出同样尺寸的凹槽或者孔，将靶材和背板加工出凹槽或者孔的一面叠放在一起，同时在凹槽或孔中填充硬度较低的材料，在真空条件下将靶材与背板封焊成一体，然后施压使得凹槽或孔中的填充材料嵌合在靶材和背板中，并将两者相连，最后进行热处理和成品加工，实现靶材与背板的牢固连接。本发明的方法适用于各种靶材与背板材料的连接，同时适用于各种形状的靶材连接。

主权项

一种靶材与背板的连接方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）首先在靶材与背板表面同时加工出同样尺寸的凹槽或者孔，将靶材和背板加工出凹槽或者孔的一面叠放在一起，同时在凹槽或孔中填充硬度较低的材料，在真空条件下将靶材与背板封焊成一体；所述凹槽或者孔的侧面与底平面的夹角变化范围在30°~90°之间；（2）然后施压使凹槽或孔中的填充材料嵌合在靶材和背板中，实现靶材与背板的相连；（3）最后对相连的靶材与背板进行热处理和成品加工。