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发明名称
摘要
申请公布号 JP5064030(B2) 申请公布日期 2012.10.31
申请号 JP20060521986 申请日期 2004.07.26
申请人 发明人
分类号 H01L51/40;C23C14/12;G11C13/02;H01L21/205;H01L21/363;H01L21/477;H01L27/28;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;H01M4/60;H01M14/00 主分类号 H01L51/40
代理机构 代理人
主权项
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