发明名称 一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置
摘要 本发明公开了一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,主要由底板、连接板、升降滑块、升降导向杆、升降减速机、升降机、升降电机、水平导轨、同步轮、同步带、水平电机、水平减速机等部件组成。本发明采用推舟底板整体沿升降导向杆垂直滑动,确保不同管之间的推舟能够在同一个平面内,便于提高设备的自动化程度。本发明采用蜗轮蜗杆升降机完成升降运动,具有运动平稳、提升力大、结构紧凑等特点,实现推舟底板平稳升降,无冲击。本发明水平运动采用同步带轮+同步带的运动方式,具有运动速度快、噪音低、质量轻等特点,减小推舟底板负荷,提高设备的安全性及可靠性。
申请公布号 CN102760674A 申请公布日期 2012.10.31
申请号 CN201210236766.0 申请日期 2012.07.10
申请人 中国电子科技集团公司第四十八研究所 发明人 刘良玉;郭立;张宝锋;苏卫中;吕文利
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人 马强
主权项 一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置,其特征是,包括水平运动部件和垂直运动部件;所述水平运动部件的结构为,包括底板,装在底板上的水平导轨;该水平导轨上装有可相对该水平导轨滑动的连接板,所述底板上装有带轮安装座,该带轮安装座内装有与一驱动装置相联的同步带轮,安装在同步带轮上的同步带与所述连接板固定连接;所述垂直运动部件的结构为,包括固定在机架上的支撑座,穿过支撑座并与之固定一体的升降导轨,套装在升降导轨上并可沿升降导轨竖向滑动的升降滑块;所述升降滑块与所述底板固定相连,所述底板与一升降机的机身固定相连。
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