发明名称 线路板及其制作方法
摘要 本发明公开一种线路板及其制作方法。此方法是先提供其上具有线路层的基板。在基板上形成介电层。介电层覆盖线路层,且具有暴露出部分线路层的盲孔。接着,在介电层上共形地形成硫化层。而后,在硫化层上形成图案化掩模层。图案化掩模层暴露出盲孔与部分硫化层。继之,在图案化掩模层所暴露的硫化层与线路层上形成触媒层。随后,移除图案化掩模层以及图案化掩模层下方的硫化层。接着,进行第一化学沉积,以于触媒层上共形地形成第一导电层。之后,进行第二化学沉积,以于第一导电层上形成第二导电层,第二导电覆盖第一导电层。第二导电层填满盲孔。
申请公布号 CN102762039A 申请公布日期 2012.10.31
申请号 CN201110322604.4 申请日期 2011.10.21
申请人 欣兴电子股份有限公司 发明人 石志学;林永清;林建辰
分类号 H05K3/40(2006.01)I;H05K3/18(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I 主分类号 H05K3/40(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 陈小雯
主权项 一种线路板的制作方法,包括:提供一基板,该基板上具有线路层;在该基板上形成一介电层,该介电层覆盖该线路层,且该介电层具有盲孔,该盲孔暴露出部分该线路层;在该介电层上共形地形成一硫化层;在该硫化层上形成一图案化掩模层,该图案化掩模层暴露出该盲孔与部分该硫化层;在该图案化掩模层所暴露的该硫化层与该线路层上形成一触媒层;移除该图案化掩模层以及该图案化掩模层下方的该硫化层;进行一第一化学沉积,以于该触媒层上共形地形成一第一导电层;以及进行一第二化学沉积,以于该第一导电层上形成一第二导电层,该第二导电覆盖该第一导电层,且该第二导电层填满该盲孔。
地址 中国台湾桃园县