基板处理装置及其异常显示方法、参数设定方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及其异常显示方法、参数设定方法，该基板处理装置包括具有操作画面的操作部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理基板的基板处理机构的状态，上述操作部具有设定画面，该设定画面用于设定与转矩限制有关的信息，该与转矩限制有关的信息包含对上述基板输送机构有无转矩控制功能的信息、或使用转矩控制功能时的转矩控制值，上述设定画面能按作为控制对象的上述基板输送机构的每个轴设定与转矩限制有关的信息。利用本发明，能按驱动各输送机构的执行机构来指定设定安全范围的转矩限制值或有无转矩限制功能，还具有在执行机构停止时能够进行适当的警报显示的功能。

主权项

一种基板处理装置，包括具有操作画面的操作部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理基板的基板处理机构的状态，上述操作部具有设定画面，该设定画面用于设定与转矩限制有关的信息，该与转矩限制有关的信息包含对上述基板输送机构有无转矩控制功能的信息、或使用转矩控制功能时的转矩控制值，上述设定画面能按作为控制对象的上述基板输送机构的每个轴设定与转矩限制有关的信息。