四极杆质谱仪

摘要

一种四极杆质谱仪，用于分析测试体内的气体成分，其设置为能够实现栅极的通电加热，防止灵敏度降低并可进行高精度的气体成分的分析的低成本结构。四极杆质谱仪（MA1）具有可拆卸地安装在测试体（TP）上的传感器部（M1）。以相对测试体的传感器部的安装方向为上方，传感器部具有：安装在下端的规定形状的支持体（1）；安装在该支持体上的、具有细丝（22）及栅极（21）并将上述气体离子化的离子源（2）；安装在该离子源上的、由四根柱状电极（31）在周方向以规定间隔设置而成的四极杆部（3），以及安装在该四极杆部上的、通过向相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部（4）。

主权项

一种四极杆质谱仪，其能够分析测试体内的气体成分，其特征在于：具有可拆卸地安装在测试体上的传感器部；以相对该测试体的传感器部的安装方向为上方，该传感器部具有：安装在下端的规定形状的支持体；安装在该支持体上的、具有细丝及栅极并将上述气体离子化的离子源；安装在该离子源上的、由四根柱状电极在周方向上以规定间隔设置而成的四极杆部；以及安装在该四极杆部上的、通过在相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部。