| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein magnetisch geführtes Bewegungssystem, wobei die Läuferbewegung ohne jeglichen mechanischen Kontakt zwischen Stator und Läufer mit Hilfe magnetischer Feldkräfte erfolgt. Für diese rein magnetisch geführten Bewegungssysteme ist jedoch die Erfassung aller Bewegungsfreiheitsgrade translatorisch in x-, y- und z-Richtung sowie rotatorisch um die Achsen x, y, und z notwendig, um ein Positionssignal des Läufers für die Regelung der magnetisch geführten Einheit in allen 6 Freiheitsgraden bereitzustellen. Es wird in Lösung der erfinderischen Aufgabe von einem planaren Spulenarray ausgegangen, welches vorzugsweise auf einer Statorplatte angeordnet und befestigt ist. Ein Spulenarray besteht aus vorzugsweise aus 6 Flachspulen die in 3 Paaren sternförmig symmetrisch versetzt angeordnet sind. Im Zentrum der Anordnung befindet sich ein Freiraum, der für die Anordnung eines 6D-Messkopfes genutzt wird, wobei dieser Messkopf wiederum auf einer Statorplatte definiert positioniert ist. Drei Magnetreihen sind in Form einer Dreiecksanordnung angeordnet, in deren Zentrum sich ein Freiraum befindet. Dieser Freiraum wird vorzugsweise für die Anordnung eines 6D-Flächenmaßstabes des 6D-Messsystems genutzt. |
