一种穿孔的平板电容式气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种穿孔的平板电容式气体传感器，包括硅基板、硅顶盖、上电极薄膜、下电极薄膜、气敏介质。其特征在于：①硅基板上设有微阱，下电极薄膜位于微阱底部，上电极薄膜附着在硅顶盖上并悬于微阱的上方。电极薄膜彼此不接触，构成平板电容结构；②气敏介质为混乱交织的微纳米线或微纳米管，位于微阱内；③硅基板和硅顶盖在微阱对应的位置分别开设有多个气孔，构成气流通道。由于采用微纳米线/管作气敏薄膜，不仅表面积大，因而气体扩散吸附容易，因此本发明的气体传感器具有响应快、灵敏度高的特点，可检测极低浓度的气体，且制备方法简单。

主权项

一种穿孔的平板电容式气体传感器，包括硅基板、硅顶盖、上电极薄膜、下电极薄膜、气敏介质，其特征在于：硅基板上设有微阱，下电极薄膜位于微阱底部，微阱具有倾斜的侧壁以引出电极；气敏介质为微纳米线或微纳米管，位于微阱内；上电极薄膜附着在硅顶盖上并悬于微阱的上方，硅基板和硅顶盖在微阱对应的位置分别开设有多个气孔。