一种防止硅片滑动的金属承载盒

摘要

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种防止硅片滑动的金属承载盒。本实用新型一种防止硅片滑动的金属承载盒，通过在传统金属承载盒的硅片入口的底部设置一个金属条，使得金属承载盒放置时呈倾斜状，放置于其中的硅片在烘烤时不易滑落，从而易降低了硅片由于滑落造成损坏的几率，增大产品的良率及降低生产成本。

主权项

一种防止硅片滑动的金属承载盒，其特征在于，于金属承载盒硅片入口的底部设置一增高装置，使得所述金属承载盒的底部与水平面之间形成一角度θ。