Leckageerkennung

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erkennen einer Leckage (12) an einem vakuumabgedichteten Aufbau (2), der mittels einer Drucksenke (7) evakuierbar ist, umfassend das Aufnehmen von thermografischen Bilddaten von dem evakuierten, vakuumabgedichteten Aufbau (2) durch mindestens einen thermografischen Bildsensor (9), das Ermitteln von Temperaturdifferenzen an dem vakuumabgedichteten Aufbau (2) aus den thermografischen Bilddaten und das Erkennen einer Leckage (12) an dem vakuumabgedichteten Aufbau (2) in Abhängigkeit von den ermittelten Temperaturdifferenzen.